学　术

　　由基础与前沿研究院主办的“基础论坛”第175期邀请到中国工程物理研究院电子工程研究所传感器与执行器中心主任唐彬博士来校作学术交流。具体安排如下，欢迎师生们参加。

　　时　间：2019年5月17日10：00-11:30

　　地　点：沙河校区通信楼725会议室

　　报告人：唐彬 博士

　　报告题目：高性能特种微纳器件的研究进展与发展目标

　　报告简介: 

　　基于微电子机械系统(Micro Electromechanical System, MEMS)技术的微型传感器和微型执行器具有高可靠性、小体积、低功耗等优点，在武器装备系统中有着广泛的应用需求。本报告将首先介绍中心特种微纳器件的研制现状与关键技术特点；结合未来军事战争对高性能、高可靠、耐恶劣环境的微型传感器与执行器的重大需求，重点阐释基于新材料、新工艺的特种微纳器件的研究方向与发展目标。

　　个人简历： 

　　唐彬，男，博士，研究员，现任中国工程物理研究院电子工程研究所传感器与执行器中心主任，全国惯性计量技术委员会委员，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事，中国微米纳米技术学会微执行器与微系统技术分会理事，重庆市惯性技术学会副理事长。2005年获重庆大学仪器科学与技术学士学位，2008年获重庆大学精密仪器与机械硕士学位，2010年获日本名古屋大学微纳系统与工程博士学位，后任日本名古屋大学VBL研究员，2012年6月进入中物院工作。研究领域主要集中在MEMS（微电子机械系统）器件原理与设计、引信技术、微加工工艺、MEMS可靠性。作为课题负责人承担过国防预研重大专项、国家重大仪器项目、国家自然科学基金等项目。在国内外学术期刊发表论文30余篇，SCI收录20余篇，获授权专利10项。